beckmann beckmann beckmann

MET ONE 3411

Przenośny licznik cząstek w powietrzu MET ONE 3411 różni się od wielu liczników cząstek, gdyż został zaprojektowany specjalnie do monitorowania pomieszczeń czystych podczas produkcji precyzyjnych elementów półprzewodnikowych. Kiedy licznik pracuje w strefie czystej – jego wentylator pozostaje wyłączony i generowanie cząstek jest praktycznie wyeliminowane.

MET ONE 3411 jest najczystszym przenośnym licznikiem cząstek 0,1 μm na rynku.

Urządzenie spełnia rygorystyczne wymagania normy ISO-21501-4, aby zapewnić użytkownikom niezrównaną dokładność i powtarzalność pomiarów, co ma kluczowe znaczenie dla testów porównawczych i rozwiązywania problemów.

Utrzymanie cleanroomu w czystości
Jedyny licznik cząstek 0.1 μm bez wentylatora wyciągowego generującego zanieczyszczenia.

Baterie Hot-swap – 100% dostępność instrumentu
Baterie Hot-swap z możliwością wymiany w czasie pracy, bez wyłączania urządzenia – zapewniają ciągłość działania. Nie ma potrzeby zatrzymania pomiaru z powodu rozładowania akumulatorów, czy w celu zerowania liczenia.

Kreator testu dla łatwiejszego zapewnienia zgodności – w prosty sposób opracujesz testy i potwierdzisz parametry swoich pomieszczeń czystych
Oszczędność czasu i eliminacja błędów podczas monitorowania środowisk produkcji precyzyjnych elementów półprzewodnikowych.

Sekwencyjny system pobierania próbek – kolektor
Niskokosztowe rozwiązania monitoringu pomieszczeń mogą zostać wdrożone dzięki zastosowaniu kolektora / samplera MET ONE model 3432. Możliwość próbkowania sekwencyjnego z maksymalnie 32 lokalizacji, przy użyciu jednego licznika cząstek w powietrzu MET ONE model 3411.

Elastyczna komunikacja – łatwa konfiguracja i transfer danych
Mniej pracy papierkowej dzięki opcji bezprzewodowej, Ethernet i komunikacji szeregowej do MET ONE Data Management lub własnym rozwiązaniom systemowym.

Intuicyjny interfejs użytkownika
Łatwiejsze ustalanie planów pobierania próbek, parametrów operacyjnych obszaru i lokalizacji. Eliminacja błędów konfiguracji i oszczędność czasu dzięki możliwości wyeksportowania konfiguracji ustawień do karty pamięci USB, a następnie przeniesienia ich do następnych urządzeń, by wdrażać plan pobierania próbek w całej flocie instrumentów.

ISO 21501-4 – niezawodność i dokładność
Licznik zaprojektowany specjalnie, by spełniać rygorystyczne wymagania normy ISO 21501-4 i zapewniać najwyższą dokładność, precyzję i powtarzalność liczenia cząstek.

  • Monitoring i weryfikacja pomieszczeń czystych,
  • Klasyfikacja pomieszczeń czystych,
  • Weryfikacja pomieszczeń czystych w zgodzie z normą ISO 14644,
  • Monitoring cząstek stałych w pomieszczeniach czystych / drobnocząsteczkowy monitoring pomieszczeń czystych,
  • Monitorowanie sekwencyjne procesów produkcyjnych,
  • Diagnostyka źródeł zanieczyszczeń cząsteczkami,
  • Wykrywanie nieszczelności w filtrach HEPA o rozmiarach 0.1, 0.15, 0.2, 0.3, 0.5 i 1 μm,
  • Skanowanie filtrów,
  • Monitoring gazu wysokociśnieniowego z prostym menu wyboru gazu i automatyczną regulacją przepływu próbki.
ParametrWartość
Liczba kanałów 6
Rozmiary kanałów 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0 µm
Źródło światła Laser helowo-neonowy
Waga Bez baterii: 15.9 kg; baterie: 0.66 kg
Wymiary

szer. 33 cm

głęb. 55.9 cm

wys. 22.9 cm

Obudowa Łatwa do czyszczenia stal nierdzewna
Natężenie przepływu 1.0 CFM (28.3 LPM)
Cykl zerowy Zgodnie z normami ISO 21501-4 i JIS B 9921: ≤1 w ciągu 5 minut, 95% poziom pewności
Błąd koincydencji 5% przy 50,000 cząstek/ft3 wg metody ISO 21501-4
Pompa Opatentowana pompa krzywkowa, pracująca w pętli zamkniętej, w trybie ciągłym
Skuteczność zliczania

50% dla cząstek 0.1 μm;

100% dla cząstek > 0.15 μm

zgodnie z ISO 21501-4 i JIS B 9921

Temperatura robocza Od 10° do 40°C;  od 10 do 90% wilgotności względnej, bez kondensacji
Wyświetlacz ¼ VGA kolorowy TFT ekran dotykowy
Drukarka Drukarka termiczna o szybkim wydruku
Maksymalna wyświetlona wartość 9.999,999 

Ustawienia czasu opóźnienia:

(w godzinach, minutach i sekundach)

Delay Time     od 00:00:15 do 23:59:59

 

Ustawienia czasu próbkowania, wstrzymania:

(w godzinach, minutach i sekundach)

Sample Time    od 00:00:01 do 23:59:59
Hold Time       od 00:00:01 do 23:59:59
Alarmy Od 1 do 9,999,999 cząstek
Etykiety lokalizacji ID:  od 0 do 999; NAZWA: w porządku alfanumerycznym, pojawia się na wydruku
Bufor pamięci 5.000 próbek, możliwość przewijania na wyświetlaczu
Złącza komunikacyjne USB Client (wersja 1.1) USB Host (wersja 1.1) RS-485 Ethernet z protokołem TCP/IP, z opcjonalnym protokołem bezprzewodowym 802.11g, kolektor Met One 3432 (alarm i sonda skanująca)
Protokoły komunikacyjne Modbus TCP , Modbus RTU , Serial FX
Wejścia Sonda prędkości przepływu powietrza, czujnik wilgotności względnej / temperatury
Automatyczny system oczyszczania powietrza Zawór elektromagnetyczny do sprężonego powietrza, aktywowany przez połączenie z systemem Clean Dry Air
Zasilanie 24 VDC z adapterem 100-240 VAC, 50/60 Hz
Rodzaj baterii Litowo-jonowa, ładowalna, wymienna bez konieczności przerywania pracy urządzenia
Czas pracy baterii 3 godziny minimum
Czas ładowania baterii Minimum 6.75 godziny, maksymalnie 10 godzin
Ilość baterii w zestawie

w zestawie

Numer katalogowyOpis
2087966-01 Sonda izokinetyczna 1.00 CFM niklowane aluminum, przyłącze 3/8” 
960380 Wąż bezpyłowy (podający próbkę), 3/8 cala średnicy wewnętrznej
2088035-01 Aluminiowy adapter do sondy izokinetycznej
970650 Statyw trójnożny do sondy izokinetycznej
230-300-7052 Zasilacz 24VDC moc wyjściowa
VP623500 Kabel zasilający AC, 72", 230V, czarny
VP623501 Kabel zasilający: 115VAC, 6' L
2087939-01 Filtr zerowy 1CFM
2087090 Oprogramowanie PortAll, na CD
460519 Papier do drukarki, 2 rolki
280-120-2024 2 x baterie litowo-jonowe
210-400-5171 Rysik do ekranu dotykowego
2088010-01 Dysk pamięci USB 128 MB
410-150-0011 3-stykowa kostka połączeniowa
410-420-0020 Tylna osłona do 3-stykowej kostki połączeniowej
490-200-0001 Antena bezprzewodowa 

Opcjonalnie

Numer katalogowyOpis
CAL_GAS_3411 Kalibracja gazów, He, Ar, CO2 i N2 dla modelu 3411
701241-01 Dokumentacja walidacyjna (IQ/OQ); na CD
2087966-02 Sonda izokinetyczna 1.00 CFM, stal nierdzewna, przyłącze 3/8”
2089406-01 Statyw do sondy izokinetycznej
460519 Papier do drukarki
280-300-5000 Inteligentna ładowarka do baterii
280-120-2024 Inteligentny akumulator litowo-jonowy
2088928 Czujnik temperatury i poziomu wilgotności względnej VAISALA HMP50
2087939-01 Filtr zerowy (dla modeli z przepływem 1 CFM)
460-400-4798 Kabel, USB 2.0, o dużej prędkości przesyłu, 1 metr
2084045-02 Oprogramowanie Particle Vision PortAll, wersja 2.0
700011-21 Licencja PortAll wersja standardowa
2088000-01 Sonda skanująca do filtrów HEPA (z elektroniczną sygnalizacją); dla liczników z przepływem 1 CFM
2088000-02 Sonda skanująca do filtrów HEPA (bez elektronicznej sygnalizacji); dla liczników z przepływem 1 CFM
2088012-02 Adapter, Kabel USB do RS-232, kabel USB, złącze null modem DB-9, protokół komunikacyjny Modbus
2088012-01 Adapter, Kabel USB do RS-485, kabel USB, protokół komunikacyjny Modbus
2080732-8 Dyfuzor wysokociśnieniowy do liczników z przepływem 1.0 CFM
Więcej w tej kategorii: « MET ONE 3400 Simply Paperless